DIN 5240-1962 中心剪钳.侧面剪钳和中心剪丝钳交货技术条件
作者:标准资料网 时间:2024-05-25 04:55:31 浏览:8532
来源:标准资料网
【英文标准名称】:End,centreandsidecuttingnippers;technicalspecifications
【原文标准名称】:中心剪钳.侧面剪钳和中心剪丝钳交货技术条件
【标准号】:DIN5240-1962
【标准状态】:作废
【国别】:
【发布日期】:
【实施或试行日期】:
【发布单位】:德国标准化学会(DE-DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:
【英文主题词】:
【摘要】:
【中国标准分类号】:J47
【国际标准分类号】:
【页数】:
【正文语种】:
【英文标准名称】:Multichannelamplitudeanalyzers:Standardsfortime-to-amplitudeconverters
【原文标准名称】:多通道幅度分析仪时间-幅度变换器标准
【标准号】:IEC60741-1982
【标准状态】:作废
【国别】:国际
【发布日期】:1982
【实施或试行日期】:
【发布单位】:国际电工委员会(IX-IEC)
【起草单位】:IEC/TC45
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:核技术;转炉(金属);电气工程
【英文主题词】:Convertors(metals);Electricalengineering;Nucleartechnology
【摘要】:Theobjectofthisstandardistopresenttermsanddefinitionsrelatingtothemaincharacteristicsoftime-to-amplitudeconvertersusedinconjunctionwithmultichannelamplitudeanalyzersinthemeasurementoftimeintervals(acommonapplicationisi
【中国标准分类号】:L88;F81
【国际标准分类号】:17_220_20
【页数】:19P.;A4
【正文语种】:英语
基本信息
标准名称: | 硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次离子质谱检测方法 |
英文名称: | Test method for measuring surface sodium,aluminum,potassium,and iron on silicon and epi substrates by secondary ion mass spectrometry |
中标分类: |
冶金 >>
半金属与半导体材料 >>
半金属与半导体材料综合 |
ICS分类: |
电气工程 >>
半导体材料
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发布部门: | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
发布日期: | 2009-10-30 |
实施日期: | 2010-06-01 |
首发日期: | 2009-10-30 |
作废日期: | |
主管部门: | 国家标准化管理委员会 |
提出单位: | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会 |
归口单位: | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会 |
起草单位: | 信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国电子科技集团公司第四十六研究所 |
起草人: | 何友琴、马农农、丁丽 |
出版社: | 中国标准出版社 |
出版日期: | 2010-06-01 |
页数: | 12页 |
计划单号: | 20070859-T-469 |
适用范围
本标准规定了硅和外延片表面Na、Al、K 和Fe的二次离子质谱检测方法。本标准适用于用二次离子质谱法(SIMS)检测镜面抛光单晶硅片和外延片表面的Na、Al、K 和Fe每种金属总量。本标准测试的是每种金属的总量,因此该方法与各金属的化学和电学特性无关。
本标准适用于所有掺杂种类和掺杂浓度的硅片。
本标准特别适用于位于晶片表面约5nm 深度内的表面金属沾污的测试。
本标准适用于面密度范围在(109~1014)atoms/cm2 的Na、Al、K 和Fe的测试。本方法的检测限取决于空白值或计数率极限,因仪器的不同而不同。
前言
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所属分类: 冶金 半金属与半导体材料 半金属与半导体材料综合 电气工程 半导体材料