您的位置: 标准下载 » 国际标准 » JIS 日本工业标准 »
热门标准
下载排行

JIS K0148-2005 表面化学分析.用总反射X-射线荧光(TXRF)测定法测定硅晶片的表面主要污染物

作者:标准资料网 时间:2024-05-24 10:52:24  浏览:9090   来源:标准资料网
下载地址: 点击此处下载
【英文标准名称】:Surfacechemicalanalysis--Determinationofsurfaceelementalcontaminationonsiliconwafersbytotal-reflectionX-rayfluorescence(TXRF)spectroscopy
【原文标准名称】:表面化学分析.用总反射X-射线荧光(TXRF)测定法测定硅晶片的表面主要污染物
【标准号】:JISK0148-2005
【标准状态】:现行
【国别】:日本
【发布日期】:2005-03-20
【实施或试行日期】:
【发布单位】:日本工业标准调查会(JP-JISC)
【起草单位】:TechnicalCommitteeonBasicEngineering
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:
【英文主题词】:
【摘要】:この規格は,シリコン鏡面ウェーハ又はエピタキシャルウェーハの表面原子濃度を,全反射蛍光X線分折法(TXRF)によって定量する方法について規定する。この方法は,次の元素分析に適用する。—原子番号が16(S)から92(U)までの元素—表面原子濃度が1×10atoms/cmから1×10atoms/cmまでの汚染元素—VPD試料前処理法を用いる場合は,表面原子濃度が5×10atoms/cmから5×10atoms/cmまでの汚染元素
【中国标准分类号】:A43
【国际标准分类号】:71_040_40
【页数】:24P;A4
【正文语种】:日语


下载地址: 点击此处下载
返回跳至顶部
【英文标准名称】:Toolsformoulding-Mouldguidebushes,headed,andlocatingguidebushes,headed
【原文标准名称】:制模工具.第4部分:有突缘头压模导套和有突缘头定位导套
【标准号】:BS7564-4-1992
【标准状态】:作废
【国别】:英国
【发布日期】:1992-04-01
【实施或试行日期】:1992-04-01
【发布单位】:英国标准学会(BSI)
【起草单位】:BSI
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:铸模设备;粗糙度(表面);轴衬(机械元件);尺寸;粗糙度;导衬;形状;名称与符号
【英文主题词】:Bushes(mechanicalcomponents);Bushings;Components;Designations;Dimensions;Guidebushes;Shape;Tools
【摘要】:ThisInternationalStandardlaysdownthedimensionsandtolerancesinmillimetresforheadedguidebushesandheadedlocatingguidebushesintendedforuseinmoulds.
【中国标准分类号】:J46
【国际标准分类号】:25_120_10
【页数】:10P;A4
【正文语种】:英语


【英文标准名称】:StandardTestMethodforDeterminationofIndividualComponentsinSparkIgnitionEngineFuelsby100MetreCapillaryHighResolutionGasChromatography
【原文标准名称】:用100米毛细管高分辨率气相色谱法测定火花点火发动机燃料中单一组分的标准试验方法
【标准号】:ASTMD6729-2004
【标准状态】:现行
【国别】:美国
【发布日期】:2004
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(ASTM)
【起草单位】:ASTM
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:汽车燃料;毛细管;气相色谱法;汽油;单一;计量装置;火花点火;火花点燃发动机;试验方法;测试
【英文主题词】:Automotivefuels;Capillary;Gaschromatography;Gasoline;Individual;Meterprovers;Sparkignitions;Spark-ignitionengines;Testmethods;Testing
【摘要】:
【中国标准分类号】:E31
【国际标准分类号】:75_160_20
【页数】:51P;A4
【正文语种】:英语